| Ном | ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
|---|---|
| Доираи татбиқ | Устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее - рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9до 10-6м. |
| Ҳолат | Амалкунанда |
| Санаи қабул дар ҶТ | 11.11.2009 |
| Саниа интишор | 01.11.2010 |
| Таҳиягар ва суроғаи он | Российская Федерация |
| Категория | Каталоги стандартҳои байнидавлатӣ |
| Забони нашр | Русский |
| Тағирот | - |
| Миқдори саҳифа | 9 |
| Фармоиш |