| Название | ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки |
|---|---|
| Аннотация | Распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер. |
| Статус Н/Д | Действующий |
| Дата принятия в РТ | 11.11.2009 |
| Дата введения | 01.11.2010 |
| Разработчик Н/Д и его адрес | Российская Федерация |
| Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
| Язык оригинала | Русский |
| Изменения | - |
| Кол-во страниц | 9 |
| Заказать |